Wanneer vooraanstaande technologiebedrijven als ASML en Carl Zeiss problemen ondervinden met kritische verontreiniging wenden ze zich tot TNO voor ondersteuning. Ons team van 50 gekwalificeerde nano-instrumentatie technologen en wetenschappers ontwikkelen en assembleren experimentele opstellingen en voeren hier experimentele testprogramma’s op uit, om deze uitdagingen het hoofd te bieden. TNO ontwikkelt deze opstellingen en houdt ze in eigendom, ontwikkelt ze samen met onze klanten of draagt het eigenaarschap volledig aan hen over.
TNO stelt zich tot doel kritische problemen te voorkomen, diagnosticeren en verhelpen. Van probleemanalyse tot oplossing hanteren we de principes voor contaminatiebeheersing bij het ontwikkelen, bouwen en valideren van ultraschone apparatuur voor lithografie. We blijven onze uitgebreide kennis op het gebied van moleculaire contaminatie en deeltjescontaminatie, vacuüm-, flowtechnologie en hoogenergetische straling uitbreiden en voor onze klanten inzetten.
Bij TNO zetten we onze kennis op het gebied van moleculaire en deeltjescontaminatie in bij onderzoek naar processen en ontwikkeling van systemen voor de EUV-lithografie-industrie. We adviseren ook toeleveranciers van de EUV-lithografie-industrie op het gebied van schoon produceren en hoe dit te bereiken.
Onze expertise op het gebied van oppervlaktefysica en fysische chemie wordt op al onze activiteiten toegepast en dat stelt ons in staat ontwikkelingen op alle terreinen van EUV te versnellen. Enkele voorbeelden van onze mogelijkheden:
In de halfgeleidermarkt maar ook in veel andere markten worden technische hoogstandjes gevraagd op het gebied van complex stromingsgedrag en thermische huishouding. Een complex stromingsprobleem is bijvoorbeeld het uit elkaar houden van gassen en/of vloeistoffen, zelfs als oppervlakken, waarbinnen het gas/de vloeistof zich bevindt, met een hoge snelheid relatief ten opzichte van elkaar bewegen.
Voorbeelden van applicaties waar bovenstaande complexe stromingsproblemen aan de orde zijn:
TNO heeft de domeinexpertise gecombineerd met de thermische en stromingsexpertise om de bovengenoemde veeleisende systemen te ontwikkelen en valideren. Hierbij wordt gebruik gemaakt van simulatie (CFD, FEM) en testen. Op het gebied van microfluïdisch koelen of verdampen, heeft TNO een unieke exclusieve IP-positie.
Van verlenging van de levensduur van optieken en collectoren, tot het oplossen van problemen op gebied van contaminatie - TNO heeft de deskundigheid in huis die u nodig heeft voor uw productontwikkeling en het verlengen van de levensduur van uw apparatuur. Daarom roepen marktleiders zoals ASML en Carl Zeiss de hulp van TNO in wanneer zich technische uitdagingen voordoen.
Wilt u weten hoe TNO uw ambities op het gebied van lithografie kan ondersteunen? Heeft u een contaminatieprobleem in uw productie van apparatuur voor de halfgeleiderindustrie of wilt u uw EUV-activiteiten tot een succes maken? Neem contact met ons op, dan gaan we met onze expertise voor u aan de slag.
Neem contact op met Frank Driessen
De vraag is verzonden! Je ontvangt binnenkort een bevestigingsmail.
Er is helaas iets misgegaan. Probeer het later opnieuw!